	РЕЗЮМЕ		След >

Автоматизация технологического проектирования РЭС

ВВЕДЕНИЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОТЕХНОЛОГИЙ Модели процессов ионного легирования Модели диффузионных процессов Модели термического окисления Моделирование граничных процессов Моделирование процесса эпитаксии Модели электрофизических параметров для физикотопологического расчета полупроводниковых структур Модели процессов термогенерации в сильнолегированных полупроводниковых структурах ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И МЕТОДЫ ИССЛЕ ДОВАНИЯ НОВЫХ НАНОСТРУКТУРНЫХ МАТЕРИАЛОВ Технология получения и свойства нанопорошков Химические методы синтеза нанопорошков Физические методы Механические методы Объемные наноструктурные материалы Особенности модели наноструктур Необычные свойства наноструктурных материалов и области их применений Диагностика наноструктур Рентгеноструктурный анализ Определение размеров частиц Теория и практика моделирования нанообъектов ЗАКЛЮЧЕНИЕ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

	РЕЗЮМЕ		След >