Автоматизация технологического проектирования РЭС

ВВЕДЕНИЕМОДЕЛИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОТЕХНОЛОГИЙМодели процессов ионного легированияМодели диффузионных процессовМодели термического окисленияМоделирование граничных процессовМоделирование процесса эпитаксииМодели электрофизических параметров для физикотопологического расчета полупроводниковых структурМодели процессов термогенерации в сильнолегированных полупроводниковых структурахТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И МЕТОДЫ ИССЛЕ ДОВАНИЯ НОВЫХ НАНОСТРУКТУРНЫХ МАТЕРИАЛОВТехнология получения и свойства нанопорошковХимические методы синтеза нанопорошковФизические методыМеханические методыОбъемные наноструктурные материалыОсобенности модели наноструктурНеобычные свойства наноструктурных материалов и области их примененийДиагностика наноструктурРентгеноструктурный анализОпределение размеров частицТеория и практика моделирования нанообъектовЗАКЛЮЧЕНИЕСПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
 
  РЕЗЮМЕ   След >